氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（StandardbicCentimeterperMinute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（StandardLiterperMinute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。

　　對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù),可以方便地查到，因而簡單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

　　需要注意的是,被質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位,不符合國內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）,但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)。

　　質(zhì)量流量控制器為什么要滿足一個(gè)壓差?

　　很多客戶在使用質(zhì)量流量控制器(MFC)過程中發(fā)現(xiàn)總不能很好的達(dá)到控制流量效果，很多愿意都是沒有達(dá)到MFC自生的一個(gè)壓差，目前市場上一般MFC的壓差都在50-300Kpa，這個(gè)意思就是進(jìn)口和出口的壓力差小不能低于50Kpa，大不能超過300Kpa，因?yàn)镸FC自帶電磁比例閥原因，如果壓差太小，氣體壓力就根本不能把比例閥頂開，氣體壓力過大就讓比例閥不能很好進(jìn)行控制。所以客戶在使用中好先告知進(jìn)、出口壓力，看看是否能滿足這個(gè)差壓50-300Kpa當(dāng)然有些客戶是有低壓差的需求。