氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。